Kawasaki川崎硅片傳輸機械手優(yōu)勢：
采用伸縮結(jié)構(gòu)，可兼顧向低位傳遞和向高位輸送；
對應(yīng)FOUP數(shù)：最多3FOUP。
Kawasaki川崎硅片傳輸機械手
       川崎硅片傳輸機械手通過使用錐齒輪并采用沒有齒隙的緊密齒輪設(shè)計，有效減輕齒面的負(fù)擔(dān)，在降低使用磨損減少噪音的同時能夠提高重復(fù)定位的精度。其優(yōu)勢在于以微米單位的齒面嚙合技術(shù)，能輕松實現(xiàn)碰撞檢測功能及拖拽示教功能。