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在液晶顯示屏的生產(chǎn)制造過程中，要經(jīng)過一道利用曝光機(jī)對玻璃基板進(jìn)行曝光的工序，接近式光刻機(jī)的掩膜板與玻璃基板之間存在一個微小的曝光間隙，然后通過平行光(UV)的照射在該曝光間隙中進(jìn)行曝光，如此一來，可以有效避免掩膜板與玻璃基板直接接觸而引起對掩膜板的損傷。

對于玻璃基板曝光過程而言，曝光間隙的數(shù)值越小越好，但曝光間隙越小對玻璃基板的潔凈程度的要求也越高。當(dāng)異物進(jìn)入到曝光間隙中或者落在玻璃基板上時，若是沒有及時發(fā)現(xiàn)異物的存在而進(jìn)行曝光的話，那么基板上的異物很有可能在曝光時對掩膜版造成污染甚至劃傷，或者在曝光后產(chǎn)生質(zhì)量不合格的產(chǎn)品，這兩種情況都將導(dǎo)致生產(chǎn)成本的升高并浪費工時。所以這道工序還需要曝光機(jī)異物檢知裝置。當(dāng)前的接近式曝光機(jī)在曝光前都會有異物檢知裝置，來檢測異物的大小，當(dāng)檢知到的異物高度值大于曝光間隙時，會報警判涂布玻璃基板為非工作狀態(tài)，不進(jìn)入曝光程序。