廣科智能擁有大量二手SANKYO三協(xié)真空機(jī)器人,型號齊全,如:SR8651、SR8652、SR8670、SR9142、SR9152……歡迎全國各地理工機(jī)電學(xué)院、工廠采購、工業(yè)機(jī)器人培訓(xùn)機(jī)構(gòu)來電咨詢,價(jià)格實(shí)惠。三協(xié)真空機(jī)器人可以在10-7 pa的真空環(huán)境下運(yùn)行。耐高溫達(dá)200℃。此系列真空機(jī)器人大部分組件采用不銹鋼或熱膨脹系數(shù)相當(dāng)?shù)牟⑶页鰵饴实椎牟牧稀?/span> 

真空機(jī)器人是一種能夠在真空環(huán)境下工作的機(jī)器人,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和液晶工業(yè)中,實(shí)現(xiàn)晶圓或玻璃基板在真空腔室內(nèi)的運(yùn)輸。真空搬運(yùn)機(jī)器人由于不使用氣體真空吸附系統(tǒng)和氣缸等,因此搬運(yùn)時(shí)保持晶圓在機(jī)器手上的穩(wěn)定比較困難。因此,此前只能以150~200枚/時(shí)的速度搬運(yùn)晶圓。此次,通過改進(jìn)保持晶圓穩(wěn)定的真空內(nèi)的夾具,即使高速搬運(yùn),機(jī)器手上的晶圓也不會錯(cuò)位。這樣,可最大限度發(fā)揮真空機(jī)器人的搬運(yùn)速度。

 

三協(xié)真空機(jī)器人SR8651


三協(xié)雙臂真空搬運(yùn)機(jī)器人SR8651參數(shù): 

真空度(Pa):1.33×10-2;

自由度:5-AXIS(all AC-servo controlled);

動作范圍「RR/RL 軸」(㎜):2400;

動作范圍「Z 軸」(㎜):250/450;

可動范圍「θ軸」(deg):+140~-185;

最大速度「RR/RL軸」(㎜/sec):3370;

最大速度「Z 軸」(㎜/s):300;

最大速度「θ軸」(rads/s):2.09;

最大速度「重復(fù)精度」(㎜):+/-0.2

最大速度「噪音」(dB):80 or less

最大速度「基板尺寸」(㎜):~1100×1300 t=3.1~5.2/~1300×1500 t=0.5~1.1/~1500×925 t=0.5~1.1

 

三協(xié)雙臂真空搬運(yùn)機(jī)器人SR8652參數(shù): 

真空度:1.33×10-2;

自由度:5-AXIS(all AC-servo controlled);

動作范圍「RR/RL 軸」(㎜):2720;

動作范圍「Z 軸」(㎜):465(Solar)/670(LCD);

動作范圍「θ軸」(deg):+140~-185;

最大速度「RR/RL 軸」(㎜/sec):2474;

最大速度「Z 軸」(㎜/s):400;

最大速度「θ軸」(rads/s):2.09;

最大速度「重復(fù)精度」(㎜):+/-0.2;

最大速度「噪音」(dB):80 or less;

最大速度「基板尺寸」(㎜):1100×1300 t=4~5(Solar);

最大速度「基板尺寸」(㎜):~1500×1850 t=0.5~1.1(LCD)