Brooks布魯克斯晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
作者: 廣科 | 2024-08-30
BROOKS真空機(jī)器人特點(diǎn):
1、可在真空集束機(jī)臺(tái)里輸送晶圓;
2、可傳送300mm 的晶圓;
3、擁有專利BiSymmetrik的雙末端執(zhí)行器;
4、可用于本地和遠(yuǎn)程監(jiān)視和診斷的高級(jí)固件;
5、符合CE和SEMI S2。
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